下圖顯示了一個(gè)DMD設(shè)備，它單獨(dú)傾斜的微鏡組成。鏡子通常被稱為像素。
這些設(shè)備可以在序列或非序列模式下建模。
| | |
| User Defined Surface called us_mems.dll | {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous \MEMS DLL Sample.ZMX |
| | {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx" |
如何計(jì)算單個(gè)像素/鏡子的旋轉(zhuǎn)
本節(jié)將說明如何設(shè)置單個(gè)像素的旋轉(zhuǎn)。像素可以按行（在這種情況下，一行鏡子將始終處于相同的狀態(tài)/傾斜）、按列（在這種情況下，一列鏡子將始終處于相同的狀態(tài)/傾斜）或按像素單獨(dú)設(shè)置。
在本節(jié)中，我們將解釋如何單獨(dú)設(shè)置像素，即當(dāng)P-Flag參數(shù)等于2時(shí)。
MEMS可以看作是一個(gè)網(wǎng)格，從左下角開始，隨著您向右移動(dòng)，然后向上移動(dòng)一排，像素?cái)?shù)會(huì)增加。
如下這個(gè)例子，下面是一個(gè) 6x6 的網(wǎng)格。類似最多3750個(gè)元素的任何網(wǎng)格大小。
MEMS對(duì)象一次考慮15個(gè)像素/鏡子的組。
因此，如果MEMS是 6x6 網(wǎng)格，則意味著它總共有36個(gè)像素，所以共有3組：2組15像素和1組6像素：
這些組將由不同的參數(shù)設(shè)置：
| | | |
| | | |
| 參數(shù)14標(biāo)記為“像素 1-15” | 參數(shù)15標(biāo)記為“像素16-30” | |
| | 標(biāo)有“像素16-30”的Par 11列 | |
由于每個(gè)分組都有一個(gè)基數(shù)為3的數(shù)字來告訴OpticStudio如何指向單個(gè)像素，像素的分組可以如下所示進(jìn)行歸一化，每個(gè)值對(duì)應(yīng)于您需要將基數(shù)3提高到的冪：
每個(gè)像素可以具有對(duì)應(yīng)于角度0、角度1和角度2的三個(gè)值（0、1、2）之一。
假設(shè)角度值定義為：
?角度 0 = 12°
?角度 1 = 0°
?角度 2 = -8°??
下面的網(wǎng)格顯示了每個(gè)像素的狀態(tài)：
現(xiàn)在，要計(jì)算行/列/鏡像1-15的狀態(tài)值，您需要使用以下等式：
P = ∑∑(像素的角度狀態(tài)*3^(像素?cái)?shù)-1))
需要對(duì)像素 16-30 和像素 31-45 重復(fù)此過程。
附件中的 Excel 宏工作簿有助于計(jì)算這些值。
要運(yùn)行 Excel 宏：
?點(diǎn)擊?Table
?然后單擊MEMS按鈕（確保已設(shè)置 Excel 安全性以運(yùn)行宏）。
將出現(xiàn)一個(gè)用戶表單，您可以在其中輸入X像素和Y像素
?然后單擊創(chuàng)建表。如果您之前有以前的數(shù)據(jù)，您應(yīng)該檢查Clear Previous Table
然后這將填充2個(gè)表格，其中一個(gè)位于頁(yè)面頂部，顯示行、列、像素?cái)?shù)和15個(gè)像素的分組，您可以將其用作指南。第二個(gè)表格，從我們的6x6示例的第13行開始（該行將根據(jù)您選擇的X像素的數(shù)量而變化）是您應(yīng)該輸入0/1/2像素值狀態(tài)的地方。
輸入這些值后，單擊“計(jì)算P Val”按鈕。然后，宏將計(jì)算復(fù)制并粘貼到OpticStudio中所需的值：
讓我們看一下 {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous\MEMS DLL Sample.ZMX 下的Sequential Mode示例文件
該示例文件描述了一個(gè)4x4 MEMS反射鏡。
因此，該器件可以看作：
現(xiàn)在讓我們看看像素處于哪個(gè)狀態(tài)。P flag = 0表示鏡像按行尋址。
參數(shù)“第 1-15 行”的值 = 5
參數(shù)“第 1-15 行”的值 = Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33)
即參數(shù)“第1?15行”的值=Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4
此時(shí)因?yàn)閰?shù)“第1?15行”的值= 5，這意味著Row3 = 0 和 Row4 = 0
然后我們可以推導(dǎo)出 Row2 = 1和Row1 = 2
像素狀態(tài)定義如下：
這意味著我們有以下角度。旋轉(zhuǎn)角度為45度。初始尖端平面沿+X。然后這些角度圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)以使鏡子尖端。
讓我們看一下 {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx 下的Non-Sequential Mode示例文件
該示例文件描述了一個(gè) 1x15 MEMS反射鏡
現(xiàn)在讓我們看看像素處于哪個(gè)狀態(tài)（0,1,2）。P flag = 2，因此這意味著鏡像是單獨(dú)尋址的。
參數(shù)“像素 1-15”的值= 13245761。
我們可以推斷像素狀態(tài)定義如下：
MEMS可以在OpticStudio中輕松建模。