在當(dāng)前MEMS設(shè)計(jì)領(lǐng)域，工具集成度比以往增加了很多。為了應(yīng)對(duì)市場競爭，用戶需要一個(gè)已經(jīng)成功證明能夠加速商業(yè)項(xiàng)目設(shè)計(jì)周期的工具集。Tanner MEMS流程不只把MEMS器件與相應(yīng)模擬/數(shù)?；旌想娐吩O(shè)計(jì)的集成變得簡單，同時(shí)也能夠幫助用戶改善MEMS器件的設(shè)計(jì)。因此，它能夠減少培訓(xùn)時(shí)間，縮短設(shè)計(jì)周期。

Tanner MEMS設(shè)計(jì)流程的核心是L-Edit。L-Edit是一款MEMS版圖編輯工具，可以進(jìn)行曲線多邊形和全角運(yùn)算操作。相比于工程師使用的其他CAD工具，L-Edit的版圖規(guī)劃更加清晰。用戶可以快速的畫出所需的圖形，并方便地檢查多層版圖組合之間的重疊和相互關(guān)聯(lián)。利用L-Edit例如強(qiáng)大的曲線編輯、實(shí)時(shí)DRC檢查、布爾運(yùn)算、對(duì)象捕捉與對(duì)準(zhǔn)等方面的優(yōu)勢(shì)，用戶可以更有效的完成設(shè)計(jì)任務(wù)，并節(jié)約時(shí)間與成本。與此同時(shí)，在任意形狀與曲率的多邊形復(fù)雜運(yùn)算和派生層生成操作上，L-Edit的精度也可以做的非常高。這些操作包含AND，OR，XOR，Subtract，Grow和Shrink等。它們?cè)试S用戶根據(jù)簡單的形狀產(chǎn)生復(fù)雜的MEMS特殊結(jié)構(gòu)。如下圖所示：

Tanner MEMS的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

- 同一環(huán)境下完整的IC和MEMS設(shè)計(jì)解決方案

- 25年的MEMS設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)

- 從版圖生成3D MEMS模型

- 支持導(dǎo)入和導(dǎo)出GDS、OASIS、DXF、Gerber 和 CIF 文件格式

- L-Edit提供可視化連接的節(jié)點(diǎn)高亮，可以快速查找和定位DRC和LVS問題

- 高度可編程的MEMS版圖設(shè)計(jì)工具，如曲線多邊形、多角操作等

- 參數(shù)化派生層產(chǎn)生工具，可實(shí)現(xiàn)特殊MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

- 完整可視化的多圖層幾何圖形設(shè)計(jì)- 利用工具欄便捷地生成、擺放和對(duì)準(zhǔn)圖形，執(zhí)行任意角度旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)、合并、咬和切片操作，指定一個(gè)參考點(diǎn)進(jìn)行編輯操作，如對(duì)象旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)、移動(dòng)，或使用基點(diǎn)位置進(jìn)行實(shí)例放置等

- 針對(duì)MEMS工藝的DRC檢查

- 支持附帶邊界重構(gòu)的DXF數(shù)據(jù)格式導(dǎo)入導(dǎo)出

- 支持Luceda Photonics公司的IPKISS.eda工具, 進(jìn)行硅光器件設(shè)計(jì)

- Soft MEMS工具選項(xiàng)

>?高級(jí)3D分析工具：機(jī)械，熱，聲，電，靜電，磁性和流體分析

>?系統(tǒng)級(jí)仿真，包含IC和MEMS協(xié)同仿真

>?根據(jù)3D分析結(jié)果，自動(dòng)生成MEMS器件行為模型